Đến năm đầu thế kỷ XX, địa bàn xã Châu Pha ngày nay nằm trong phần đất của làng Hắc Dịch, thuộc tổng An Trạch, tỉnh Bà Rịa.

Ngày 8 tháng 12 năm 1982, Quyết định số 192-HĐBT của Hội đồng Bộ trưởng (nay là Chính phủ) thành lập xã kinh tế mới lấy tên là xã Châu Pha trên cơ sở sáp nhập một phần đất của hai xã Hắc Dịch và Long Hương, huyện Châu Thành, tỉnh Đồng Nai.[2]

Ngày 2 tháng 6 năm 1994, huyện Tân Thành được thành lập theo Nghị định 45/CP của Chính phủ, xã Châu Pha thuộc huyện Tân Thành.[3]

Ngày 12/4/2018, huyện Tân Thành chuyển thành thị xã Phú Mỹ, xã Châu Pha thuộc thị xã Phú Mỹ như hiện nay.